| 摘要 |
<p>Заявляемое устройство относится к устройствам для последующей обработки монокристаллов или гомогенного поликристаллического материала с определенной структурой, в частности, к станкам для продольного разрезания слитков поликристаллического кремния. Задачей, на решение которой нацелен предлагаемый станок, - повысить эффективность осаждения в начальной фазе процесса осаждения кремния и снизить расход электроэнергии. Технический результат при использовании заявляемого устройства выражается в получении прутков-основ квадратного сечения слитков поликристаллического кремния длиной 2 м и более. Указанный технический результат достигается тем, что в известном станке, содержащий станину с направляющими, колонку, каретку со шлифовальной головкой, систему охлаждения рабочей зоны, отличительной особенностью является то, что станина снабжена дополнительно ходовым винтом, соединенным с мотор-редуктором, в цепи питания которого установлен тиристорный преобразователь частоты, а шлифовальная головка содержит несколько отрезных алмазных кругов, кроме того, на столе смонтирована плита со шпонкой и на плите установлены подвижные промежуточные опоры с пазами. Учитывая особые условия эксплуатации, устройство отличается тем, что, насадок системы охлаждения снабжен соплами, направленными в зону резания каждого отрезного алмазного круга. Кроме того, станок снабжен каскадным отстойником для осаждения частиц кремния и местным отводом водорода, выделяющегося при взаимодействии охлаждающей воды с кремнием.</p> |
