摘要 |
<p>Полезная модель относится к измерительной технике, в частности, к измерителям давления, использующим преобразователи с вибрирующей пластиной. Кремниевый виброрезонансный преобразователь давления с вибрирующей пластиной содержит две вытянутые пластины, расположенные вдоль друг за другом, два конца которых соединены между собой гибкой перемычкой, каждая пластина в средней части по сторонам соединена гибкими растяжками с двумя продольно и симметрично расположенными относительно вытянутых пластин опорами, выступающими из мембраны и выполненными с ней за одно целое. Мембрана по периферии содержит утолщение в виде рамки, пластины имеют возможность совершать резонансные колебания с частотой, зависящей от измеряемого давления, вокруг осей, проходящих поперек вытянутых пластин и мест соединения их с гибкими растяжками, причем опоры выполнены полыми, что позволяет снизить погрешность, вызванную влиянием температуры и других внешних воздействий окружающей среды, и повысить точность измерения давления.</p> |