发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A FERROELECTRIC CAPACITOR AND A FABRICATION PROCESS THEREOF
摘要
申请公布号 KR100692436(B1) 申请公布日期 2007.03.09
申请号 KR20000062899 申请日期 2000.10.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L27/115;C23C14/08;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/8246;H01L27/105 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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