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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A FERROELECTRIC CAPACITOR AND A FABRICATION PROCESS THEREOF
摘要
申请公布号
KR100692436(B1)
申请公布日期
2007.03.09
申请号
KR20000062899
申请日期
2000.10.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/28;H01L27/115;C23C14/08;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/8246;H01L27/105
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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