ION GENERATING APPARATUS AND THIN FILM DEPOSITING SYSTEM USING THE SAME,申请号KR20050068907-传众专利搜索

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发明名称	ION GENERATING APPARATUS AND THIN FILM DEPOSITING SYSTEM USING THE SAME
摘要
申请公布号	KR100690447(B1)	申请公布日期	2007.03.09
申请号	KR20050068907	申请日期	2005.07.28
申请人		发明人
分类号	H01J37/08	主分类号	H01J37/08
代理机构		代理人
主权项
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