| 发明名称 |
SUPPORT DE RESONATEUR ACOUSTIQUE ET CIRCUIT INTEGRE CORRESPONDANT |
| 摘要 |
La présente invention concerne un circuit intégré comprenant au moins un niveau d'interconnexion 1 et un résonateur acoustique muni d'un élément actif 12 et d'un support 11 comprenant au moins un ensemble bicouche comprenant une couche de matériau à forte impédance acoustique 8 et une couche de matériau à faible impédance acoustique 10, ledit support 11 comprend en outre un élément en saillie 7 disposé sur un niveau de métallisation 4 du niveau d'interconnexion 1 permettant de réaliser un contact électrique entre un niveau d'interconnexion 1 et l'élément actif 12 du résonateur acoustique. |
| 申请公布号 |
FR2890490(A1) |
申请公布日期 |
2007.03.09 |
| 申请号 |
FR20050009050 |
申请日期 |
2005.09.05 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS SA SOCIETE ANONYME;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
BOUCHE GUILLAUME;PARAT GUY |
| 分类号 |
H01L27/20;H01L41/22;H03H3/02;H03H9/54 |
主分类号 |
H01L27/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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