| 发明名称 |
ELECTROCHEMICAL -MECHANICAL POLISHING COMPOSITION AND METHOD FOR USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL179192(D0) |
申请公布日期 |
2007.03.08 |
| 申请号 |
IL20060179192 |
申请日期 |
2006.11.12 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
C09G1/02;C09K;C09K3/14;H01L21/321 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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