Arbeitsverfahren für Vakuumbehandlungsvorrichtung,申请号DE1991633535T-传众专利搜索

发明名称	Arbeitsverfahren für Vakuumbehandlungsvorrichtung
摘要
申请公布号	DE69133535(T2)	申请公布日期	2007.03.08
申请号	DE1991633535T	申请日期	1991.08.19
申请人	HITACHI LTD.	发明人	KATO, SHIGEKAZU;NISHIHATA, KOUJI;TSUBONE, TSUNEHIKO;ITOU, ATSUSHI
分类号	H01L21/00;B01J3/00;B41J2/36;B41J2/365;C23C14/56;H01L21/677	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
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