发明名称 VERFAHREN ZUR SCHNELLEN UND GENAUEN BESTIMMUNG DER MINORITÄTSTRÄGERDIFFUSIONSLÄNGE AUS GLEICHZEITIG GEMESSENEN OBERFLÄCHENFOTOSPANNUNGEN
摘要
申请公布号 DE60123971(T2) 申请公布日期 2007.03.08
申请号 DE20016023971T 申请日期 2001.06.29
申请人 SEMICONDUCTOR DIAGNOSTICS INC. 发明人 LAGOWSKI, JACEK;FAIFER, VLADIMIR;ALEYNIKOV, ANDREY
分类号 G01R31/308;H01L21/66;G01R31/26;G01R31/265;G01R31/28;G01R31/302;H01J40/14 主分类号 G01R31/308
代理机构 代理人
主权项
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