| 发明名称 |
Vakuumsaugvorrichtung und Betriebsverfahren hierfür |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10341046(B4) |
申请公布日期 |
2007.03.08 |
| 申请号 |
DE20031041046 |
申请日期 |
2003.09.03 |
| 申请人 |
SMC CORP. |
发明人 |
FUKANO, YOSHIHIRO;MAKADO, SHOICHI |
| 分类号 |
B25J15/06;B65G47/91;H01L21/683;H05K13/04 |
主分类号 |
B25J15/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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