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Interferometrische Messeinrichtung in Mach-Zehnder-Anordnung mit einer Lichtquelle und einem Strahlteiler, der den eingekoppelten Lichtstrahl der Lichtquelle in zwei Teilstrahlengänge teilt, einer Umlenkeinheit und einer zweiten Umlenkeinheit, die die Teilstrahlengänge in einem zweiten Strahlteiler zusammenführen, wobei die Teilstrahlengänge aufgrund von einstellbaren Gangunterschieden in unterschiedlichem Maße interferieren können, und zumindest einem Lichtaustritt zur Weiterleitung des Interferenzbildes zur Analyse mittels einer Auswertevorrichtung, wobei der Teilstrahlengang an einer oder mehreren Stellen gefaltet ist und die optische Weglänge durch eine verschiebbare Reflektoranordnung in der Umlenkeinheit variierbar ist, wobei die Weglängen in beiden Teilstrahlengängen gleich lang einstellbar sind. DOLLAR A Mit dieser Anordnung kann eine beliebig weite Variation der optischen Wegunterschiede im Interferometer ermöglicht werden, ohne dass die Polarisationseigenschaften des Lichtes negativ beeinflusst werden. |
