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发明名称
摘要
申请公布号	JP3888587(B2)	申请公布日期	2007.03.07
申请号	JP20050144778	申请日期	2005.05.17
申请人		发明人
分类号	H05K1/09;C23C30/00;C23F1/18;C23F1/30;H05K1/03;H05K3/06;H05K3/24	主分类号	H05K1/09
代理机构		代理人
主权项
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