发明名称 有机EL元件的制造方法、有机EL元件和有机EL面板
摘要 本发明提供一种有机EL元件的制造方法,在用静电吸盘保持有机EL元件基板并使其与密封基板粘贴的有机EL元件的制造方法中,防止有机EL元件基板中组装的驱动电路由于来自静电吸盘的静电而劣化。因此,本发明的特征在于,在基板(1)的第二主面(1b)上,或者在第一主面(1a)与驱动电路(2)之间,设置用于防止驱动电路(2)由于来自静电吸盘的静电而劣化的导电层(11)。
申请公布号 CN1925138A 申请公布日期 2007.03.07
申请号 CN200610126443.0 申请日期 2006.08.31
申请人 三洋电机株式会社 发明人 原田学;小村哲司
分类号 H01L21/82(2006.01);H01L21/50(2006.01);H01L27/32(2006.01);H05B33/10(2006.01);H05B33/12(2006.01) 主分类号 H01L21/82(2006.01)
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 龙淳
主权项 1.一种有机EL元件的制造方法,其特征在于,包括:在基板的第一主面上设置有源矩阵驱动电路的工序;在其上设置有机EL元件结构,制作有机EL元件基板的工序;在减压腔室内,用静电吸盘保持所述有机EL元件基板的与所述第一主面相反一侧的第二主面的工序;将所述有机EL元件基板按压在涂布有粘接剂的密封基板上,使所述密封基板隔着粘接剂层粘贴在所述有机EL元件结构上的工序;和作为所述有机EL元件基板,在所述基板的第二主面上,或者在所述第一主面与所述驱动电路之间,制作设置有导电层的有机EL元件基板的工序。
地址 日本大阪