A method and system for controlling the chemical mechanical polishing by using a sensor signal of a pad conditioner,申请号GB20060005607-传众专利搜索

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发明名称	A method and system for controlling the chemical mechanical polishing by using a sensor signal of a pad conditioner
摘要
申请公布号	GB2420302(B)	申请公布日期	2007.03.07
申请号	GB20060005607	申请日期	2004.09.17
申请人	ADVANCED MICRO DEVICES, INC	发明人	GERD FRANZ MARXSEN;JENS KRAMER;UWE GUNTER STOECKGEN
分类号	B24B7/04;B24B37/04	主分类号	B24B7/04
代理机构		代理人
主权项
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