| 发明名称 | 用于制备大面积均匀薄膜的非线性热丝结构 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于制备大面积均匀薄膜的热丝结构，属于材料制备技术领域。该结构包括热丝架、多根热丝和热丝绝缘接头；该热丝绝缘接头固定在热丝架的两个相对的边框上，该热丝的两端头与热丝绝缘接头相连；其特征在于，各根热丝热丝采用不均匀弹簧状的热丝，在热丝的两端区域的圈数/cm大于热丝中间区域的圈数/cm。本发明设计的热丝结构，通过提高端点热丝温度较好解决了限制大面积应用的热丝边界冷端效应，提高了热丝纵向的热场均匀性，避免了依靠增加热丝长度提高热丝方向均匀性而引起的热丝弯曲和腔体过大问题，明显增加了均匀热场面积与热丝结构面积之比F，有效实现大面积均匀的薄膜沉积，具有简单、实用方便的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN1303247C | 申请公布日期 | 2007.03.07 |
| 申请号 | CN200410086851.9 | 申请日期 | 2004.11.04 |
| 申请人 | 中国科学院研究生院 | 发明人 | 朱美芳;谷锦华;刘丰珍 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01);C23C16/46(2006.01);C23C16/48(2006.01) | 主分类号 | C23C16/44(2006.01) |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 代理人 | 廖元秋 |
| 主权项 | 1、一种用于制备均匀薄膜的热催化器中的非线性热丝结构，包括热丝架、多根热丝和热丝绝缘接头；该热丝绝缘接头固定在热丝架的两个相对的边框上，该热丝的两端头与热丝绝缘接头相连；其特征在于，各根热丝采用不均匀弹簧状的热丝，在热丝的两端区域的圈数/cm大于热丝中间区域的圈数/cm，所述的多根热丝中，靠近该热丝架的两个相对的边框的热丝的圈数/cm大于该热丝架中间区域的热丝的圈数/cm，且热丝绕成弹簧的圈数m1、m2与热丝架长度L满足以下的经验公式：其中，热丝两端头区域的热丝圈数m1满足：<math> <mrow> <msub> <mi>m</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mn>2.5</mn> <mi>Dπ</mi> </mfrac> <mo>×</mo> <mn>10.76</mn> <mi>exp</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mo>-</mo> <mi>L</mi> <mo>/</mo> <mn>3.96</mn> <mo>)</mo> </mrow> <mo>+</mo> <mn>1.61</mn> <mo>,</mo> </mrow> </math> 其中D为弹簧的直径，单位是cm；靠近热丝架两个相对边框的两根热丝中部区域的热丝圈数满足：<math> <mrow> <msub> <mi>m</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mn>1.82</mn> <mi>πD</mi> </mfrac> <mrow> <mo>(</mo> <mi>L</mi> <mo>-</mo> <mn>5</mn> <mo>)</mo> </mrow> <mo>.</mo> </mrow> </math> | ||
| 地址 | 100049北京市石景山区玉泉路19号甲中国科学院研究生院物理系 | ||