电路基板的检查装置和电路基板的检查方法

摘要

提供即使作为检查对象的被检查电路基板具有微细间距的微小电极也能进行可靠性高的电路基板的电检查的电路基板的检查装置，在利用一对第1检查夹具和第2检查夹具在两检查夹具之间夹住作为检查对象的被检查电路基板的两面并进行加压以进行电检查的电路基板的检查装置中，使用了导电性粒子在厚度方向上排列的同时在面方向上均匀地分散了的各向异性导电性片作为在间距变换用基板的被检查电路基板一侧配置的第1各向异性导电性片。此外，由一对与被检查电路基板的各被检查电极电连接的电流用端子电极和电压用端子电极构成间距变换用基板的连接电极，在连接器基板上配置了分别与间距变换用基板的电流用端子电极和电压用端子电极电连接的电流用销钉侧电极和电压用销钉侧电极。此外，在中继销钉单元中的第1绝缘板与第2绝缘板之间配置中间保持板，在其间在来自表面与背面的接触支撑位置互不相同的位置上配置了支撑销钉。

主权项

1.一种电路基板的检查装置，利用一对第1检查夹具和第2检查夹具在两检查夹具之间夹住作为检查对象的被检查电路基板的两面并进行加压以进行电检查，其特征在于：上述第1检查夹具和第2检查夹具分别具备电路基板侧连接器、中继销钉单元和测试器侧连接器，上述电路基板侧连接器具备：间距变换用基板，在基板的一个面与另一个面之间变换电极间距；第1各向异性导电性片，配置在上述间距变换用基板的被检查电路基板一侧；以及第2各向异性导电性片，配置在上述间距变换用基板的与被检查电路基板相反的一侧，上述中继销钉单元具备：多个导电销钉，以规定的间距配置；以及一对分离的第1绝缘板和第2绝缘板，支撑上述导电销钉，使其可以在轴方向上移动，上述测试器侧连接器具备：连接器基板，将测试器与上述中继销钉单元电连接；第3各向异性导电性片，配置在上述连接器基板的中继销钉单元一侧；以及基座板，配置在上述连接器基板的与中继销钉单元相反的一侧，上述第1各向异性导电性片是导电性粒子在厚度方向上排列并且在面方向上均匀地分散了的各向异性导电性片。