喷墨头组件及其制造方法

摘要

本发明公开了一种喷墨头组件及其制造方法，以感光性的聚合物作为喷墨头组件的基材，利用光刻法制出喷孔以及储墨室等流体结构，进而混合利用曝光、显影或电铸等方式，直接将储墨室、喷孔以及对芯片的电性连接引脚整合至单一喷墨头组件，并且通过整体性的制造工艺来加以制造完成。

主权项

1、一种喷墨头组件的制造方法，其特征在于，包含以下步骤：提供一基材；在所述基材表面形成一牺牲层；在所述牺牲层表面形成一金属导电线路；在所述金属导电线路表面形成一第一感光性聚合物层；以光刻法在所述第一感光性聚合物层形成一个以上的喷孔及一个以上的通孔，所述喷孔提供流体通过，所述通孔用以露出该金属导电线路的一引脚端；具有一个以上储墨室的一流体结构，所述储墨室对应并连接于所述喷孔；及去除所述牺牲层，使所述感光性聚合物层与其所附着的所述金属导电线路脱离所述基材。