在各种表面上的光学位移检测

摘要

本发明的各实施例使一光学装置能够在一上面放置有一透明及/或半透明及/或光学上光滑的表面的漫射表面上进行示踪。某些实施例旨在检测光学装置何时被抬离其所位于的表面上。本发明的各实施例还包括一种用于检测z距离(距示踪表面的距离)及通过提高光学传感器子系统及/或照明子系统在所检测z距离处的有效性来提高图像质量的传感系统。其他实施例包括一种使一光学装置能够在一单独的透明及/或半透明及/或光学上光滑的表面上进行示踪的系统及方法。此可涉及到根据在透明表面上早已存在的某些形体来进行暗视场成像。另一选择为，此可涉及到形成例如小液滴等形体、散布灰尘残留物、及形成热点—此可用于进行示踪。

主权项

1、一种用于确定一光学位移检测系统与一位于一材料层下面的漫射表面之间的距离的方法，所述材料层使至少某些光穿过所述层，所述层具有一顶面及一底面，所述方法包括：在一检测器的一第一部分处接收从所述层的所述顶面反射的光；在所述检测器的一第二部分处接收从所述层的所述底面反射的光；在所述检测器的一第三部分处从所述漫射表面接收光；通过确定所述检测器的所述第一、第二及第三部分的至少一者之间的距离来确定一光学位移检测系统与所述漫射表面之间的距离。