膜测定装置及方法、涂敷装置及涂敷方法

摘要

本发明提供一种能在膜状或片状的基材上形成有膜的被检查物上的膜的整个区域正确且简单地测定膜的厚度的膜测定装置。将彩色CCD传感器(8)对被检查物进行摄像所得到的膜的彩色图像信号的色调通过视频板(11)变换为RGB的各颜色成分的灰度数据，进一步利用图像处理板(12)抽取各颜色成分的行图像。运算部(14)将行图像的G或B成分的灰度数据作为索引，参照预先测得并作为基准厚度表存储在表(13)内的、与G或B成分的灰度数据相对应的膜的厚度的基准值，求出被检查物上的膜的膜的厚度。

主权项

1.一种膜测定装置，对膜状或片状的基材上形成有膜的被检查物上的膜的物理量进行测定，其特征在于，包括：摄像部，将对所述被检查物摄像得到的膜的彩色图像的色调变换为各颜色成分的灰度数据；表格，对至少一个颜色成分存储有预先测得的与各灰度等级对应的膜的物理量的基准值；运算部，将来自所述摄像部的各颜色成分的灰度数据中的所述至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照存储在所述表格内的膜的物理量的基准值，求出所述被检查物上的膜的物理量。