振动型压电加速度传感器

摘要

本发明涉及振动型压电加速度传感器，其包括以下元件：成直线地对向配置于框架的一组振动膜；支承该振动膜的支承体；保持该支承体于直线方向自由滑动的保持部；以及与所述一组振动膜正交的另一组振动膜成直线地对向配置，并检测X、Y方向两轴的加速度，由此结构，由于通过保持部传送至支承体的加速度，振动膜发生伸缩且固有振动频率发生改变，从而可检测加速度并得到较高的共振频率的变化率，且可不受温度变化的影响而检测两轴加速度。

主权项

1、振动型压电加速度传感器，其包含的元件有： 框架； 成线地相对地设于所述框架的一组振动膜； 在所述振动膜上依次积层形成的下部电极、压电薄膜、上部电极； 分别支承所述各振动膜的接近的一端侧的支承体；以及 保持所述支承体于线方向自由滑动的保持部，并且 通过所述元件的保持部传送至支承体的加速度使得所述振动膜伸缩，并 根据所述振动膜的固有振动频率的变化检测加速度。