制造印版的方法

摘要

本发明公开了一种制造印版的方法，其通过使蚀刻临界尺寸的变化最小获得精确和细微图案。所述方法使用在绝缘基板上具有开口的硬膜以在所述绝缘基板内形成具有第一深度的第一沟槽。可以在包含第一沟槽的绝缘基板的表面上施加第一蚀刻阻挡器和第一光刻胶，用于通过曝光第一光刻胶使第一光刻胶形成图案。同理，可以形成第二和第三沟槽。

主权项

1.一种制造印版的方法，包括：在绝缘基板上形成具有至少一开口的硬膜层；在与所述硬膜层的所述至少一开口对应的所述绝缘基板内形成至少一第一沟槽，所述至少一第一沟槽具有第一深度；在包含所述至少一第一沟槽的所述绝缘基板的表面上依次形成第一蚀刻阻挡器和第一光刻胶；所述第一蚀刻阻挡器和所述第一光刻胶形成图案，使所述第一蚀刻阻挡器的一部分和所述第一光刻胶的一部分保留在所述至少一第一沟槽的侧壁上；在所述绝缘基板内形成至少一第二沟槽，所述至少一第二沟槽的每一个分别对应至少一第一沟槽的每一个，其中所述至少一第二沟槽具有大于所述第一深度的第二深度。