使用驻极体的基于MEMS的致动器装置

摘要

驻极体用于多种基于MEMS的致动器装置(100，200，600，700，800，1000，1100，1200)中。驻极体能够很长时间地储存电荷，电荷泄漏可以忽略。因此，当驻极体被装入需要致动的MEMS装置(100，200，600，700，800，1000，1100，1200)时，所述装置可以很长时间地被初始偏压到任何所需的致动状态，且没有使用外偏压电压。这样的基于MEMS的致动器装置(100，200，600，700，800，1000，1100，1200)可以包括具有至少一个第一可偏转部件(108，512，1006，1106，1202，1302)和至少一个第二部件(102，502，1010b)的基于MEMS的致动器。所述第一可偏转部件(108，512，1006，1106，1202，1302)和第二部件(102，502，1010b)设有浮动电极和第二电极。第一浮动电极(106，402，506，622，916a，1004，1104，1204)上的电荷被选择以便将第一可偏转部件(108，512，1006，1106，1202，1302)定位在距第二部件(102，502，1010b)所需的分开位置处。所述装置可以被用于对准光学部件或改变电气元件的电学特性。

主权项

1.一种基于MEMS的光学装置，包括：基于MEMS的致动器，所述基于MEMS的致动器具有至少一个第一可偏转部件和至少一个第二部件，至少一个第一浮动电极设置到所述第一可偏转部件和所述第二部件中的一个上，所述第一可偏转部件和所述第二部件中的另一个设有第二电极，第一浮动电极上的电荷被选择以便将可偏转部件定位在距第二部件所需的分开距离处；所述可偏转部件和第二部件中的一个包括第一光学元件；第一光学元件相对第二光学元件的偏压位置至少部分地通过可偏转部件的位置确定。