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发明名称 Mounting part of a wheel of a substrate holder with built in/anchored substrate holder
摘要
申请公布号 EP1345252(B1) 申请公布日期 2007.03.07
申请号 EP20030001509 申请日期 2003.01.23
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH 发明人 RATZEL, FRITZ;GEERK, JOCHEN, DR.
分类号 H01L21/00;H01L21/687 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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