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发明名称 Method for manufacturing semiconductor integrated circuit device
摘要
申请公布号 EP1187194(B1) 申请公布日期 2007.03.07
申请号 EP20010307575 申请日期 2001.09.06
申请人 SANYO ELECTRIC CO. LTD 发明人 TAKADA, TADAYOSHI;KITAMURA, OSAMU;OKAWA, SHIGEAKI;HATA, HIROTSUGU;FUJINUMA, CHIKAO
分类号 H01L21/8228;H01L29/73;H01L21/304;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/84;H01L21/86;H01L27/082;H01L27/12 主分类号 H01L21/8228
代理机构 代理人
主权项
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