| 发明名称 | 气密端子的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供价廉、可靠性高的高真空气密端子(30)。本发明的气密端子(30)的制造方法是，将成为外框的筒状体(31)的开口部与平板状的玻璃板(32)的外缘部进行阳极接合，阳极接合的面的宽度为0.04～200mm，表面粗糙度为0.20μm以下，筒状体(31)由Fe、Ni和Co中的至少1种构成的金属、或含有80％以上该金属的合金或导电性陶瓷构成，玻璃板(32)含有碱金属离子，阳极接合后的接合部分的惰性气体透过量为1.0×10<SUP>-15</SUP>Pa·m<SUP>3</SUP>/s～1.0×10<SUP>-8</SUP>Pa·m<SUP>3</SUP>/s。 | ||
| 申请公布号 | CN1303674C | 申请公布日期 | 2007.03.07 |
| 申请号 | CN03802928.6 | 申请日期 | 2003.01.22 |
| 申请人 | 恩益禧肖特电子零件有限公司 | 发明人 | 福岛大辅;山本英文 |
| 分类号 | H01L23/08(2006.01) | 主分类号 | H01L23/08(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 谢喜堂 |
| 主权项 | 1.一种气密端子(30)的制造方法，将成为外框的筒状体(31)的开口部与平板状的玻璃板(32)的外缘部进行阳极接合，其特征在于，阳极接合的面，宽度为0.04～200mm，表面粗糙度为0.20μm以下，所述筒状体(31)由Fe、Ni和Co中的至少1种构成的金属、或含有80％以上该金属的合金或导电性陶瓷构成，所述玻璃板(32)含有碱金属离子，阳极接合后的接合部分的惰性气体透过量为1.0×10-15Pa·m3/s～1.0×10-8Pa·m3/s。 | ||
| 地址 | 日本滋贺县 | ||