制造整体式喷墨打印头的方法

摘要

一种制造整体式喷墨打印头的方法包括：在一基底上形成加热器和用于向该加热器供给电流的电极；通过向基底上涂敷负型光致抗蚀剂并且对其进行图案化处理，形成环绕在油墨通道周围的通道形成层；至少利用两次光刻，通过反复向具有通道形成层的基底上涂敷正型光致抗蚀剂并且对其构图处理，在由通道形成层环绕起来的空间中形成具有平整顶表面的牺牲层；通过向通道形成层和牺牲层上涂敷负型光致抗蚀剂并且对其构图，形成具有喷嘴的喷嘴层；从基底的底表面对该基底进行蚀刻来进行打孔，并且形成油墨供给孔；以及去除牺牲层。由于牺牲层的顶表面被平整化，所以可轻易控制油墨通道的形状和尺寸，由此提高油墨通道的均一度。

主权项

1、一种制造整体式喷墨打印头的方法，该方法包括：在一基底上形成一油墨加热构件，用来对油墨进行加热；通过向所述基底上涂敷一负型光致抗蚀剂图案，来形成一环绕在油墨通道周围的通道形成层；至少利用两次光刻，通过反复向具有通道形成层的基底上涂敷正型光致抗蚀剂并且对其构图处理，在由所述通道形成层环绕起来的空间中形成一具有平整顶表面的牺牲层；通过向所述通道形成层和牺牲层上涂敷一负型光致抗蚀剂图案，来形成具有喷嘴的喷嘴层；对所述基底的一底部进行打孔操作，来形成一油墨供给孔；以及去除所述牺牲层。