发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100688778(B1) 申请公布日期 2007.03.02
申请号 KR20040113334 申请日期 2004.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
地址