基板处理系统及基板处理方法

摘要

一种基板处理系统及基板处理方法，包含第一装置与第二装置，在藉该第一装置与第二装置的协同而对复数基板进行逐片处理的系统中，其能抑制成本或操作空间的增大，并抑制成品率或生产量的降低。本发明之基板处理系统100包含对复数基板进行逐片处理之第一装置50与第二装置60，其以该第一装置50实行第一处理制程后，并以该第二装置60实行第二处理制程，该第二处理制程后，再以该第一装置50实行第三处理制程，作为基板运送的控制机构，该第一装置具备第一控制机构30，且该第二装置具备第二控制机构40，该第一控制机构30或第二控制机构40以通信取得他方装置处理时间的相关资讯，并依取得之资讯进行第一装置50与第二装置60间基板运送的控制。