| 摘要 |
一种框微影用防护胶膜组件及其制造方法，即便是各边长度300mm以上之大型防护胶膜组件，亦不会因膜张力而造成防护胶膜框架变形，可满足既定之尺寸规格。本发明之防护胶膜组件，系以各边长度为300mm以上之防护胶膜框架支撑防护胶膜而成的大型防护胶膜组件，其特征为该防护胶膜系由全氟丁烯基乙烯醚(perfluoro–butenyl–vinyl–ether)聚合物构成之非晶质含氟聚合物所形成，该防护胶膜之张力系大于0 N／mm，小于2×10–2 N／mm，将由全氟丁烯基乙烯醚聚合物构成之非晶质含氟聚合物稀释于溶剂，涂布于基板上，以高于180℃之温度加热去除溶剂后，将得到之防护胶膜黏接固定于临时框架，自基板剥离后，贴附于防护胶膜框架，再移去临时框架而获得。 |
