发明名称 制备具有薄膜层之基材的设备及其方法
摘要 一种制备具有薄膜层之基材的设备,包含有可供基材置放的容受平台,流体涂布装置装设在容受平台之一侧,可将流体涂料涂布在基材之表面而形成薄膜层。随后利用超音波产生器产生超音波,藉以抹平薄膜层表面波峰、波谷等凹凸现象,而大幅提升薄膜层的平坦度。
申请公布号 TW200709272 申请公布日期 2007.03.01
申请号 TW094128519 申请日期 2005.08.19
申请人 国防部军备局中山科学研究院 发明人 许觉良;丘尚文;聂一夫
分类号 H01L21/027(2006.01) 主分类号 H01L21/027(2006.01)
代理机构 代理人 许世正
主权项
地址 桃园县龙潭乡中正路佳安段481号