罩幕标准机械介面晶圆盒之环境控制

摘要

本发明提供一标准机械介面罩幕晶圆盒，系用以提供支撑一罩幕之一受控环境，其中受控环境系实质地维持不受晶粒生长所导致之污染物污染。因此，提供一具有过滤器元件之一层状过滤器，该过滤器元件可过滤微粒并吸附气体污染物。该过滤器具有一向内表面，通常为平坦外型，且具有一表面区域，实质地为罩幕表面之面积的一半或以上。向内表面系极接近罩幕图案表面，且具有一区域，其占罩幕图案表面区域之显着部份。标准机械介面盒更提供一净化系统，注入一极乾燥气体于受控环境中，不但冲去受控环境中的污染物，并使过滤器再生。