晶圆承载治具及应用其之溅镀机

摘要

一种晶圆承载治具及应用其之溅镀机。晶圆承载治具系用以使用于一溅镀机中。溅镀机系用以对一第一晶圆进行溅镀，其中第一晶圆具有一第一直径，晶圆承载治具之直径系实质上等于第一直径。晶圆承载治具系具有一承载凹槽，用以承载一第二晶圆。第二晶圆系具有一第二直径，该第二直径系小于该第一直径。