一种拉紧衬垫载具之衬垫的工具,一种自一晶圆移走晶粒的机器,以及一种移走晶粒的方法

摘要

本发明系关于一种用于拉紧一衬垫载具(1)之衬垫(2)的工具，该衬垫连接至一框架(3)，该工具包含一圆形内部主体(6)及一圆形外部主体(7)，该衬垫藉由以至少一主体支撑该框架，且以轴向方向关于另一主体移动一主体而拉紧，该内部主体在该外部主体中延伸，其中提供耦接构件(10)，该耦接构件在自一主体相对于另一主体之旋转移动期间耦接，且该耦接构件将此旋转移动转化为拉紧衬垫(2)之所需轴向移动。本发明进一步亦系关于用于自一衬垫载具移走晶粒之一种机器及一种方法。