晶圆保持体、装载该晶圆保持体之晶圆探针仪用加热器单元及晶圆探针仪

摘要

本发明系关于包含用于载置半导体晶圆而设有发热体之吸盘盘顶及支持该吸盘盘顶，且至少一部分被金属构件覆盖支持体之晶圆保持体、使用该晶圆保持体之晶圆探针仪用加热器单元及晶圆探针仪。藉此，可降低来自发热体之杂讯之外漏。在本发明之晶圆保持体中，金属构件覆盖支持体之距离系在与支持体之间较好隔着5 mm以下，更好隔着1 mm以下，最好隔着0.2 mm以下。