| 发明名称 | 用于连续侧向长晶(Sequential Lateral Solidi-fication, SLS )技术之光罩及使用该光罩之方法 | ||
| 摘要 | 一种用于连续侧向长晶技术光罩。此光罩具有至少一透明光栅。此透明光栅具有二相对应长边、一前缘与一后缘。其中，前缘所呈现之外型系朝向透明光栅之外侧突出，而后缘所呈现之外型则是朝向透明光栅之内部凹陷。 | ||
| 申请公布号 | TW200708887 | 申请公布日期 | 2007.03.01 |
| 申请号 | TW094128805 | 申请日期 | 2005.08.23 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 孙铭伟 |
| 分类号 | G03F1/00(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/30(2006.01) | 主分类号 | G03F1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 李长铭;庄世超 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 新竹市科学工业园区力行二路1号 | ||