发明名称 用于平衡记忆体阵列之位元线电容量之电力互连结构
摘要 根据一个示范实施例,一种半导体晶粒(semiconductor die)包含记忆核心阵列(memory core array)(302),位在基板之上,其中该记忆核心阵列(302)包含数个位元线(306a、306b、306c),其中位元线(306a、306b、306c)可位在半导体晶粒中之第一互连金属层中。该半导体晶粒复包含互连结构(307),位在该记忆核心阵列(302)之上,其中该互连结构(307)位在半导体晶粒中之第二互连金属层中且位在各位元线(306a、306b、306c)之上。该互连结构(307)可包含至少一个互连线(310、312),其可以形成相对于位元线(306a、306b、306c)的角度(318),该角度可以大于0.0度且小于或等于90.0度。该互连结构(307)可用各位元线(306a、306b、306c)形成数个电容量之其中一个,其中各电容量可彼此在数值上实质相等。
申请公布号 TW200709390 申请公布日期 2007.03.01
申请号 TW095124126 申请日期 2006.07.03
申请人 史班逊股份有限公司 发明人 赤荻隆男
分类号 H01L27/10(2006.01);H01L27/04(2006.01) 主分类号 H01L27/10(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 美国