| 主权项 |
1.一种机械轮毂总成,其包括: 以相互相对关系配置的第一及第二隔件;以及 用以限制该第一及第二隔件在侧向上的相对动作 之一装置。 2.如申请专利范围第1项的机械轮毂总成,其中该装 置为数个插销。 3.如申请专利范围第2项的机械轮毂总成,其中该数 个插销包括通过该第一及第二隔件而延伸的第一 及第二组插销。 4.如申请专利范围第3项的机械轮毂总成,其中该第 一组插销通过在该第一隔件上的孔延伸,且转动地 接合备置在该第二隔件上的螺纹孔径。 5.如申请专利范围第4项的机械轮毂总成,其中该第 二组插销通过在该第二隔件上的孔延伸,且转动地 接合备置在该第一隔件上的螺纹孔径。 图式简单说明: 第1图为备有一机械晶圆处理系统的一群组工具的 图式; 第2图显示第1图中的机械人之手臂总成,并显示该 手臂总成在缩回及延伸位置; 第3图显示第1图中的机器人之手腕总成; 第4图显示一习知机械手臂总成,并显示其缩回及 延伸位置; 第5图为依据本发明之教示而制成的一隔件的部份 截面侧视图;以及 第6图为第5图的隔件之侧视图。 |
