| 主权项 |
1.一种平板显示器制造装置,包括一负载锁室,一馈 入室,及一处理室,该装置尚包括: 一基板入口,设置在负载锁室将负载锁室与负载锁 室外界连通; 复数个闸,设置在负载锁室以开闭基板入口;及 复数个基板支撑件,分别接到该等闸以允许基板置 于基板支撑件之上表面。 2.如申请专利范围第1项之平板显示器制造装置,其 中: 该等闸成对地设置在负载锁室之侧壁,其中形成基 板入口,以便包括在各闸对中之闸能重叠;及 各闸对中之闸交替地开闭基板入口,以便各闸对中 闸之第一者与基板入口分离,当各闸对中闸之第二 者关闭基板入口时,开启基板入口,及当第二闸与 基板入口分离时,第一闸关闭基板入口以开启基板 入口。 3.如申请专利范围第2项之平板显示器制造装置,其 中第一及第二闸接到负载锁室末端,以便第一及第 二闸互相独立地铰合。 4.如申请专利范围第3项之平板显示器制造装置,其 中第一及第二闸分别藉由铰链元件而接到负载锁 室末端。 5.如申请专利范围第4项之平板显示器制造装置,其 中铰链元件分别接到从负载锁室末端凸出之铰链 支撑件。 6.如申请专利范围第1项之平板显示器制造装置,其 中各基板支撑件包括复数个基板支撑臂,其具有渐 增长度,以便基板支撑臂,其以一极大距离与接到 负载锁室之相关闸之一部分分离,具有一极小长度 ,及基板支撑臂,其以一极小距离与接到负载锁室 之相关闸之该部分分离,具有一极小长度。 7.如申请专利范围第1项之平板显示器制造装置,其 中各基板支撑件具有一多层结构,其具有复数个基 板支撑层以同时支撑复数个基板。 8.一种平板显示器制造装置,包括一负载锁室,一馈 入室及至少一处理室,其接到馈入室,该装置尚包 括: 至少一基板支撑单元,各设置在负载锁室之侧边, 其与接到馈入室之负载锁室之侧壁相邻,以便各基 板支撑单元经由负载锁室之侧壁而连通负载锁室, 该负载锁室与接到负载锁室之负载锁室之侧壁相 邻,以便将一基板载入负载锁室及将该基板从负载 锁室卸载。 9.如申请专利范围第8项之平板显示器制造装置,其 中二基板支撑单元设置在负载锁室之二侧边,该负 载锁室与接到馈入室之负载锁室之侧壁相邻,以便 各基板支撑单元分别经由负载锁室之侧壁而连通 负载锁室,该负载锁室之侧壁与接到馈入室之负载 锁室之侧壁相邻。 10.如申请专利范围第8或9项之平板显示器制造装 置,其中各基板支撑单元包括: 一基板支撑件,具有一支撑面以支撑一基板;及 一馈入器,调适成沿着负载锁室往复地移动基板支 撑件。 11.如申请专利范围第10项之平板显示器制造装置, 其中馈入器包括: 一导轨,设置在负载锁室中;及 一导块,接到基板支撑件且可沿着导轨移动。 12.如申请专利范围第10项之平板显示器制造装置, 其中基板支撑件具有一多层结构,其具有复数个基 板支撑层以同时支撑复数个基板。 13.如申请专利范围第10项之平板显示器制造装置, 尚包括: 一基板传输装置,与负载锁室相邻以馈入一基板承 载匣至各基板支撑单元。 14.如申请专利范围第10项之平板显示器制造装置, 尚包括: 一基板馈入传输系统,用以传送一基板至各基板支 撑单元及从基板支撑单元接收基板,藉此将基板载 入基板支撑单元及从基板支撑单元卸载基板。 15.如申请专利范围第10项之平板显示器制造装置, 其中平板显示器制造装置是一沈积装置或一蚀刻 装置。 16.如申请专利范围第9项之平板显示器制造装置, 尚包括: 基板入口,形成在负载锁室之侧壁,该负载锁室与 接到馈入室之负载锁室之侧壁相邻,以允许基板支 撑单元分别通过基板入口;及 复数个门,设置在负载锁室之侧壁以分别关闭相关 之基板入口, 其中控制该等门,以便当驱动基板支撑单元之第一 者时,与第一基板支撑单元相对之门将基板入口关 闭,该基板入口形成在与第一基板支撑单元相关之 负载锁室之侧壁。 17.如申请专利范围第10项之平板显示器制造装置, 尚包括: 一基板馈入装置,用以馈入一基板至负载锁室之侧 壁,藉此相关之基板支撑单元可连通负载锁室,其 中基板馈入装置包括一传输系统。 18.如申请专利范围第17项之平板显示器制造装置, 其中基板馈入装置包括: 复数个滚轮支撑带;及 复数个滚轮,接在滚轮支撑带之间且互相均等地分 离,各滚轮可独立旋转。 19.如申请专利范围第17项之平板显示器制造装置, 其中基板馈入装置可垂直移动。 20.如申请专利范围第17项之平板显示器制造装置, 其中基板馈入装置延伸至一位置,其中基板馈入装 置与一路径重叠,基板支撑单元之一相关者沿着它 移动。 21.如申请专利范围第18项之平板显示器制造装置, 其中各滚轮可顺向及逆向旋转,且控制成于载入一 基板时顺向旋转及卸载一基板时逆向旋转。 22.如申请专利范围第19项之平板显示器制造装置, 其中基板馈入装置尚包括: 一基板阻挡件,设置在基板馈入装置之一末端以防 止基板馈入装置馈入一基板时超过一预设位置。 23.一种平板显示器制造系统,包括: 至少一负载锁室,用以从负载锁室外接收一基板及 将基板传送到负载锁室外,同时交替地建立一真空 状态及一大气状态; 二馈入室,互相分离且维持在一大气状态,各馈入 室从负载锁室接收一基板,传送基板至另一馈入室 ,从另一馈入室接收基板,及传送基板至负载锁室; 至少一处理室,接到各馈入室,且在处理室中设置 有一处理装置,以执行一预设处理用于载入处理室 之基板;及 一共同室,位于馈入室之间,且在与馈入室相邻之 共同室之相对侧壁分别设置有复数个闸,以便从馈 入室接收基板及将基板馈入馈入室。 24.如申请专利范围第23项之平板显示器制造系统, 其中至少一负载锁室包括二负载锁室,分别接到馈 入室。 25.如申请专利范围第24项之平板显示器制造系统, 其中: 共同室包括一载入模,位于共同室以载入从馈入室 传来之基板;及 共同室功能为一中间位置用以在馈入室之间传送 基板。 26.如申请专利范围第24项之平板显示器制造系统, 其中共同室尚包括一处理装置,位于共同室,及复 数个闸阀分别调适成关闭该等闸;及 共同室功能为一处理室以独立地执行一预设处理 用于载入共同室中之基板。 27.一种制造平板显示器之方法,使用一平板显示器 制造系统,该系统包括至少二平行之平板显示器制 造装置,各平板显示器制造装置包括:一负载锁室, 一馈入室,一处理室,及一共同室,位于平板显示器 制造装置之馈入室之间,该方法包括以下步骤: a)检查各负载锁室是否正常操作; b)若各负载锁室正常操作,向接到各负载锁室之馈 入室供应一基板,从接到各负载锁室之馈入室接收 一完成处理之基板,及处理该收到之基板,及若一 负载锁室不正常操作,经由另一负载锁室向接到另 一负载锁室之馈入室供应一基板; c)根据接到另一负载锁室之馈入室操作而将基板 传送到共同室,该基板供应给接到另一负载锁室之 馈入室; d)根据接到不正常操作之负载锁室之馈入室操作, 而将基板传送到共同室,该基板将基板从共同室卸 载及供应该卸载之基板至处理室,其接到与不正常 操作负载锁室连接之馈入室; e)根据接到不正常操作之负载锁室之馈入室操作, 而将完成处理之基板从处理室卸载,该处理室接到 不正常操作之负载锁室及传送该卸载基板至共同 室;及 f)根据接到另一负载锁室之馈入室操作,而将完成 处理之基板从共同室传送到另一负载锁室。 图式简单说明: 图1是一示意平面图以说明一习知FPD制造装置; 图2是该习知FPD制造装置的示意侧视图,以说明该 习知FPD制造装置的组成元件; 图3是该习知FPD制造装置的示意平面图,以说明该 习知FPD制造装置的组成元件的操作; 图4,5分别说明根据本发明第一实例的FPD制造装置 的不同配置; 图6是根据本发明第一实例的FPD制造装置的示意平 面图,以说明装在负载锁室中的闸; 图7是根据本发明第一实例的FPD制造装置的示意立 体图,以说明接到各闸的基板支撑件; 图8是一示意平面图以说明基板支撑件的操作; 图9是一示意侧视图以说明具多层基板支撑件结构 的闸,这是根据本发明的一实例其改良自本发明的 第一实例; 图10,11是示意平面图,以分别说明根据本发明第二 实例的FPD制造装置的不同配置; 图12是一示意立体图以说明根据本发明第二实例 的闸; 图13是一示意立体图以说明根据本发明第二实例 的基板支撑件,其接到闸; 图14是一示意平面图以说明根据本发明第三实例 的FPD制造装置; 图15是一立体图以说明根据本发明第三实例的基 板馈入装置的一部分; 图16是一示意侧视图以说明基板馈入装置; 图17是一示意侧视图以说明基板馈入装置的操作; 图18,19,20是示意平面图以分别说明根据本发明第 四实例的FPD制造装置的不同配置;及 图21是一流程图以说明根据本发明用以操作平板 显示器制造系统的方法。 |
