| 发明名称 |
Vorrichtung zur Messung eines Oberflächenprofils eines zu vermessenden Objekts |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60216123(T2) |
申请公布日期 |
2007.03.01 |
| 申请号 |
DE20026016123T |
申请日期 |
2002.09.05 |
| 申请人 |
OLYMPUS CORPORATION |
发明人 |
NAGAIKE, YASUNARI;NAKAMURA, YASUSHI;ITO, YOSHIAKI |
| 分类号 |
G01B21/20;G01N19/00;G01B3/00;G01B5/004;G01B5/008;G01B5/20;G01B7/28;G01N19/08 |
主分类号 |
G01B21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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