| 发明名称 |
Vorrichtung zum Behandeln eines Werkstückes in einer Gasentladung |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE19643709(B4) |
申请公布日期 |
2007.03.01 |
| 申请号 |
DE19961043709 |
申请日期 |
1996.10.23 |
| 申请人 |
RUEBIG GES.M.B.H. & CO. KG |
发明人 |
TUYMER, GERHARD W. |
| 分类号 |
H01J37/32;H02H7/00;H05H1/26 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
