| 发明名称 |
In-situ-Entfernen von Kontaminationsstoffen von den Innenoberflächen eines Ionen-Implantierungsgerät |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69636044(T2) |
申请公布日期 |
2007.03.01 |
| 申请号 |
DE19966036044T |
申请日期 |
1996.06.03 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
BLAKE, JULIAN GASKILL |
| 分类号 |
C23C14/00;H01J37/30;C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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