| 发明名称 | 苯乙烯衍生物、苯乙烯聚合物、光敏树脂组合物和图案化方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于层间绝缘膜或表面保护膜的光敏树脂组合物，该组合物具有优异的分辨率并可以采用碱性水溶液显影。所述光敏树脂组合物利用至少具有以下通式II表示的结构重复单元的聚合物来制备。在所述式中，R<SUP>1</SUP>代表氢原子或甲基；R<SUP>2</SUP>－R<SUP>9</SUP>独立地代表氢原子、卤原子或具有1－4个碳原子的烷基；X代表－CH＝N－、－CONH－、－(CH<SUB>2</SUB>)<SUB>n</SUB>－CH＝N－或－(CH<SUB>2</SUB>)<SUB>n</SUB>－CONH－，并且，X中的N原子键合到苯环中在邻位上具有AO－的碳原子上；A代表氢原子或可酸解的基团；并且n代表1－3的正整数。 | ||
| 申请公布号 | CN1922216A | 申请公布日期 | 2007.02.28 |
| 申请号 | CN200580005915.0 | 申请日期 | 2005.02.25 |
| 申请人 | 日本电气株式会社 | 发明人 | 前田胜美;中野嘉一郎 |
| 分类号 | C08F12/32(2006.01);C07C233/75(2006.01);C07C251/24(2006.01);G03F7/022(2006.01);G03F7/033(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | C08F12/32(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 李剑 |
| 主权项 | 1.由通式I表示的苯乙烯衍生物：<img file="A2005800059150002C1.GIF" wi="510" he="507" />其中，R<sup>1</sup>代表氢原子或甲基；R<sup>2</sup>-R<sup>9</sup>独立地代表氢原子、卤原子或具有1-4个碳原子的烷基；X代表-CH＝N-、-CONH-、-(CH<sub>2</sub>)<sub>n</sub>-CH＝N-或-(CH<sub>2</sub>)<sub>n</sub>-CONH-，并且，X中的N原子键合到苯环中在邻位上具有AO-的碳原子上；A代表氢原子或可酸解的基团；并且n代表1-3的整数。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||