发明名称 METHOD FOR DETERMINING THE POSSIBILITY TO ASSIGN IMAGES OF INTEGRATED SEMICONDUCTOR CIRCUITS TO ALTERNATING PHASE SHIFTING MASKS
摘要
申请公布号 EP1303790(B1) 申请公布日期 2007.02.28
申请号 EP20010956410 申请日期 2001.07.25
申请人 QIMONDA AG 发明人 LUDWIG, BURKHARD;MOUKARA, MOLELA
分类号 G03F1/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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