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发明名称
METHOD FOR DETERMINING THE POSSIBILITY TO ASSIGN IMAGES OF INTEGRATED SEMICONDUCTOR CIRCUITS TO ALTERNATING PHASE SHIFTING MASKS
摘要
申请公布号
EP1303790(B1)
申请公布日期
2007.02.28
申请号
EP20010956410
申请日期
2001.07.25
申请人
QIMONDA AG
发明人
LUDWIG, BURKHARD;MOUKARA, MOLELA
分类号
G03F1/00
主分类号
G03F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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