Method for removing sacrificial layer of micro system,申请号KR20050077466-传众专利搜索

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发明名称	Method for removing sacrificial layer of micro system
摘要
申请公布号	KR20070023169(A)	申请公布日期	2007.02.28
申请号	KR20050077466	申请日期	2005.08.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/3063;H01L21/312	主分类号	H01L21/3063
代理机构		代理人
主权项
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