发明名称 | 制造太阳能电池用的燧道炉传送带及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供制造太阳能电池用的燧道炉传送带及其制造方法。制造太阳能电池用的燧道炉传送带用“镍铬合金带”构成,其特征是,传送带上表面设置多个“镍铬合金”构成的支撑柱,在支撑柱顶表面涂覆陶瓷层(即Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)。按照本发明方法制造的制造太阳能电池用的燧道炉传送带,在制造太阳能电池的过程中“镍铬合金带”构成的燧道炉传送带不与硅晶片直接接触,避免了“镍铬合金带”中包含的金属污染硅晶片;而且能承受燧道炉中高达900℃-1000℃的烧结高温。 | ||
申请公布号 | CN1920458A | 申请公布日期 | 2007.02.28 |
申请号 | CN200510029145.5 | 申请日期 | 2005.08.26 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 陈卓明;苏晓平;江彤 |
分类号 | F27B9/30(2006.01) | 主分类号 | F27B9/30(2006.01) |
代理机构 | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 楼仙英 |
主权项 | 1.制造太阳能电池用的燧道炉传送带,它用“镍铬合金带”构成,其特征是,传送带上表面设置多个“镍铬合金带”构成的支撑柱,在支撑柱表面涂覆陶瓷层(即Al2O3)。 | ||
地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 |