发明名称 制造太阳能电池用的燧道炉传送带及其制造方法
摘要 本发明提供制造太阳能电池用的燧道炉传送带及其制造方法。制造太阳能电池用的燧道炉传送带用“镍铬合金带”构成,其特征是,传送带上表面设置多个“镍铬合金”构成的支撑柱,在支撑柱顶表面涂覆陶瓷层(即Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>)。按照本发明方法制造的制造太阳能电池用的燧道炉传送带,在制造太阳能电池的过程中“镍铬合金带”构成的燧道炉传送带不与硅晶片直接接触,避免了“镍铬合金带”中包含的金属污染硅晶片;而且能承受燧道炉中高达900℃-1000℃的烧结高温。
申请公布号 CN1920458A 申请公布日期 2007.02.28
申请号 CN200510029145.5 申请日期 2005.08.26
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 陈卓明;苏晓平;江彤
分类号 F27B9/30(2006.01) 主分类号 F27B9/30(2006.01)
代理机构 上海新高专利商标代理有限公司 代理人 楼仙英
主权项 1.制造太阳能电池用的燧道炉传送带,它用“镍铬合金带”构成,其特征是,传送带上表面设置多个“镍铬合金带”构成的支撑柱,在支撑柱表面涂覆陶瓷层(即Al2O3)。
地址 201203上海市浦东新区张江路18号