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发明名称 FABRICATION PROCESS OF A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP1226604(B1) 申请公布日期 2007.02.28
申请号 EP20010945667 申请日期 2001.06.28
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 MAEKAWA, KAORU;HOSHINO, SATOHIKO;SUGIURA, MASAHITO;ALLEGRETTI, FEDERICA
分类号 H01L21/312;H01L21/3105;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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