| 发明名称 |
OPTICAL ELEMENT SUCH AS MULTILAYER FILM REFLECTION MIRROR, PRODUCTION METHOD THEREFOR AND DEVICE USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1152435(A4) |
申请公布日期 |
2007.02.28 |
| 申请号 |
EP20000953522 |
申请日期 |
2000.08.18 |
| 申请人 |
TOHOKU TECHNO ARCH CO., LTD. |
发明人 |
YAMAMOTO, MASAKI |
| 分类号 |
G03F7/20;G21K1/06;(IPC1-7):G21K1/06 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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