高精度复合抛光液及其生产方法、用途

摘要

高精度复合抛光液及其生产方法、用途，涉及用于加工如玻璃的抛光液的生产技术领域。先将氧化铈制成氧化铈悬浮液，再加入表面带负电荷的纳米级其他氧化物摩擦材料，搅匀，将pH调至4～11，制成抛光液。用于如氧化硅，硅酸盐，单晶硅等含硅化合物以及其它各种氧化物或半导体或导体表面的抛光、玻璃制品表面抛光、芯片生产的绝缘氧化层的抛光、单晶硅的抛光，都具有平化抛光效率高、不损伤抛光机的特性。

主权项

1、高精度复合抛光液，其特征在于主要由氧化铈、以及表面带负电荷的纳米级其它氧化物摩擦材料，其中，氧化铈占抛光液的总重量的0.001％～30％，表面带负电荷的纳米级其他氧化物摩擦材料占抛光液的总重量的0.1％～50％。