发明名称 Method of forming a nanocluster charge storage device
摘要
申请公布号 KR20070023770(A) 申请公布日期 2007.02.28
申请号 KR20067027147 申请日期 2006.12.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/20 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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