一种铂钛金属薄膜图形化技术

摘要

本发明公开了一种铂钛金属薄膜图形化技术，属于金属薄膜光刻图形化领域。其主要技术特征是：在光刻工序之后，将曝光过的硅片放在一氯甲苯溶剂中，浸泡30分钟后取出，再经烘干工序后，在显影液中浸泡2－3分钟，光刻胶在硅片上形成“倒梯形”结构及夹角。本发明通过应用证明：有效的提高了图形化的质量，线条清晰，无表面污染，产品合格率由原来的40％提高到85％以上。

主权项

1、一种铂钛金属薄膜图形化技术，含有工序清洗硅片、生长铂钛薄膜、光刻、烘干，其特征在于：在F、光刻工序之后，将曝光过的硅片放入浓度为25％的一氯甲苯溶济中，浸泡30分钟后取出，再经H、烘干工序之后，在显影液中浸泡2-3分钟，光刻胶(2)在硅片(1)上形成“倒梯形”结构和夹角β。