一种用于提炼高纯材料的高真空原位精炼装置

摘要

本发明公开了一种用于提炼高纯以及超高纯材料的高真空原位精炼装置，该高真空精炼装置由提炼腔、真空系统、扩散炉、坩锅、进料取料系统、保护气体装置以及工业智能温度控制器通过真空管件、气路以及导线等将各部分连接构成精炼装置整体。该装置具有分阶段分别有效去除高饱和蒸汽压杂质以及低饱和蒸汽压杂质的突出优点，同时提炼过程始终保持高真空状态，并且整个生产过程与大气隔离，极大地减少了大气对原料的污染，该装置具有产品质量高、生产能力大、性能稳定、可靠，适合于高纯以及超高纯材料的生产，特别是高活性高纯材料的制备。

主权项

1、一种用于提炼高纯材料的高真空原位精炼装置，其特征在于，该装置包括：真空系统、提炼腔、扩散炉、坩锅、进料取料系统、保护气体装置和工业智能温度控制器；进料取料系统与提炼腔相连，扩散炉安装在提炼腔底部，坩锅设置在扩散炉内，温控器通过热偶补偿线及导线与扩散炉相连，真空系统分别与提炼腔和保护气体装置相连，扩散炉中设置有两根独立的加热丝，即上部加热丝与下部加热丝，可分别加热坩锅的上部与下部，以形成上高下低或上低下高的温度分布；所述坩锅的口上还安装一坩锅盖，坩锅盖上均匀分布小孔；所述提炼腔上部还安装一用于收集高饱和蒸汽压杂质的冷凝挡板。